Bảo dưỡng kính hiển vi bao gồm: - Kiểm tra, bảo dưỡng toàn bộ hệ quang của kính, thực hiện theo đúng quy trình các bước, sử dụng đúng loại hóa chất cho việc bảo dưỡng theo khuyến cáo. Vệ sinh sạch các bề mặt của vật kính, thị kính, các phin lọc chuyển đổi ánh sáng, các lăng kính chia sáng và truyền sáng trên đầu quan sát và các vị trí quang học khác - Vệ sinh bảo dưỡng các thanh truyền sáng và các đầu quan sát phụ (với kính hiển vi nhiều đầu quan sát) - Vệ sinh lăng kính, ống chia sáng trên đầu quan sát có cổng camera (với kính hiển vi truyền hình) - Kiểm tra, hiệu chỉnh lại mạch nguồn, mạch công suất, bóng đèn đang sử dụng của kính. - Kiểm tra, vệ sinh lại hệ thống truyền sáng qua các phin lọc, các bẫy ánh sáng nằm trong thân kính. - Sử dụng dung dịch tẩy mốc chuyên dụng để xử lý các vết mốc nằm trên bề mặt thấu kính hoặc trong thân kính. - Tra dầu mỡ vào các vị trí mâm xoay vật kính, thanh trượt, rãnh bi, các bánh răng ăn khớp của của bàn di mẫu và trục kính. - Vệ sinh toàn bộ phần thân kính, sử dụng cồn 700 để khử nhiễm toàn bộ bề mặt ngoài của thiết bị sau khi vệ sinh. Hiệu chỉnh kính hiển vi sau bảo dưỡng gồm : - Hiệu chỉnh lại trục quang học tuyệt đối (quang tâm), trục quang góc xoay mắt (quang xoay) và đi-ốp bằng dụng cụ hiệu chỉnh chuyên biệt (chính hãng). - Điều chỉnh lại khả năng lấy nét của ốc vi cấp và vĩ cấp, khả năng di chuyển của bàn di mẫu cho phù hợp với việc sử dụng. - Hiệu chỉnh tâm trục quang học các đầu quan sát phụ (đối với kính nhiều đầu quan sát) so với trục chính.